德國HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺#海德漢光柵尺
敞開式直線光柵尺
敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于需要高精度測量的機(jī)床和系統(tǒng)
典型應(yīng)用包括:
半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
超精密機(jī)床
高精度機(jī)床
測量機(jī)和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
直接驅(qū)動(dòng)
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德國HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺#海德漢光柵尺
產(chǎn)品系
應(yīng)用
LIC
LIC敞開式直線光柵尺用于測量高速運(yùn)動(dòng)的行程達(dá)27 m內(nèi)的位置。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。
LIP
LIP敞開式直線光柵尺的測量步距非常小、精度和重復(fù)精度非常高。掃描方式為干涉掃描,測量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。
LIF
LIF敞開式直線光柵尺的測量基準(zhǔn)是SUPRADUR玻璃基體光柵,掃描方式為干涉掃描。特點(diǎn)是精度和重復(fù)精度高,安裝簡單,有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號(hào)的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中(參見其單獨(dú)“產(chǎn)品信息”)。
LIDA
LIDA敞開式直線光柵尺特別適用于運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用,支持多種安裝方式,安裝簡單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位開關(guān)。
PP
PP雙坐標(biāo)編碼器的測量基準(zhǔn)是一個(gè)平面 DIADUR相位光柵,掃描方式為干涉掃面。用于測量平面中位置。
機(jī)械結(jié)構(gòu)
敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵尺和讀數(shù)頭,光柵尺和讀數(shù)頭間無機(jī)械接觸。 敞開式直線光柵尺的長光柵直接固定在安裝面上。 安裝面的平面度直接影響直線光柵尺精度。